近日，藍途空調(diào)以其卓越的解決方案中標中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所項目，為其實驗室提供冷水盤管，助力國產(chǎn)EUV（極紫外光）光刻機取得重要進展，顯示了中國半導(dǎo)體行業(yè)為追趕世界先進水平的決心和實力。
EUV光刻機工作示意圖
據(jù)悉，EUV光刻技術(shù)是目前全球集成電路制造領(lǐng)域中最具有前景和潛力的先進工藝之一。EUV光刻機，素有半導(dǎo)體制造業(yè)皇冠上的明珠之稱，而EUV 光源（極紫外光）是其中最為核心的分系統(tǒng)之一。國產(chǎn)EUV的光學(xué)系統(tǒng)和控制系統(tǒng)為上海光機所自主設(shè)計研發(fā)，能夠?qū)崿F(xiàn)1納米級別的曝光精度，達到國際先進水平。
上海光機所
中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所（簡稱中科院上海光機所）是中國建立最早、規(guī)模最大的激光專業(yè)研究所，成立于1964年，已發(fā)展成為以探索現(xiàn)代光學(xué)重大基礎(chǔ)及應(yīng)用基礎(chǔ)前沿研究、發(fā)展大型激光工程技術(shù)并開拓激光與光電子高技術(shù)應(yīng)用為重點的綜合性研究所。
現(xiàn)代實驗室為各專業(yè)實驗室(物理、化學(xué)、生物等)，都離不開中央空調(diào)系統(tǒng)加持。不同專業(yè)實驗室對環(huán)境控制需求是不同的，通常需要恒溫恒濕，因為實驗結(jié)果可能會因為溫度和濕度的變化而產(chǎn)生誤差。實驗室中還可能存在大量的化學(xué)物質(zhì)或放射性物質(zhì)，這些物質(zhì)的揮發(fā)和擴散可能會對人員健康造成威脅。
2006年首臺EUV光刻機原型機實驗室
物理精密研究實驗室，一般為潔凈實驗室、超凈實驗室，除了要保持恒定的溫度和濕度，還對室內(nèi)的發(fā)塵量與室內(nèi)發(fā)菌量有具體要求，這些都需要專業(yè)的空調(diào)系統(tǒng)及設(shè)備，因此選擇具有經(jīng)濟實用、使用靈活、技術(shù)先進的系統(tǒng)設(shè)計方案至關(guān)重要。藍途空調(diào)以其先進的裝備制造，服務(wù)于業(yè)內(nèi)知名微電子行業(yè)大廠、高等院校實驗室。中國科學(xué)院上海光機所選擇與藍途空調(diào)合作，攜手邁向中國半導(dǎo)體高端制造的征途，是對藍途空調(diào)的專業(yè)性的充分肯定，也為未來的進一步戰(zhàn)略合作打下良好基礎(chǔ)。
客戶考察藍途冷水盤管生產(chǎn)線
