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國祥微電子行業(yè)解決方案

來源:智慧國祥 作者:智慧國祥

2022-10-18 18:43:27

微電子技術是隨著集成電路,尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來的一門新的技術。其主要特點為超精細加工,生產(chǎn)環(huán)境要求高,動力消耗大,投資巨大,工程復雜。隨著生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展,微電子工業(yè)對環(huán)境及其配套工程的要求越來越嚴格,其產(chǎn)品的成品率和可靠性主要取決于材料的純度和制造環(huán)境的潔凈度,對潔凈空調(diào)技術的要求也越來越高。

國祥深耕電子凈化領域多年,針對不同的產(chǎn)品、生產(chǎn)規(guī)模、功能分區(qū),提供多元化潔凈解決方案。

大型微電子凈化車間空調(diào)方案

集成電路(IC)、平板顯示器工廠生產(chǎn)車間龐大,空調(diào)通風量往往幾百萬甚至上千萬m3/h,能耗極大。氣載化學污染物對集成電路生產(chǎn)的影響,比空氣中懸浮物要廣泛和復雜的多。因此微電子行業(yè)的潔凈空調(diào)系統(tǒng),不光要去除顆粒污染物,還要去除化學污染物。

組合式空氣處理機組

風量:1000~32萬m3/h

由混合、過濾、冷卻、加熱、加濕、除濕、熱回收、消毒的等空氣處理功能段組合,可實現(xiàn)對空調(diào)區(qū)域內(nèi)空氣的溫度、濕度、潔凈度的處理和控制,以實現(xiàn)空調(diào)系統(tǒng)集中送風;

機組箱體采用榫頭雙柱箱體專利設計,保證機組超高強度、超低漏風率;

國家級測試中心漏風率報告,漏風率僅0.03%,機組配置超低漏風且安全泄壓專利檢修門,機組冷橋因子和傳熱系數(shù)達歐標TB1/T1要求;

機組以卓越的性能順利通過德國TUV測試認證,品質(zhì)得到了國內(nèi)外廣泛認可。

干盤管

風量:1000~10000 m3 /h

溫濕度、潔凈度獨立控制;結(jié)構精巧,性能優(yōu)越;采用專利換熱鱗片,空氣阻力低;每臺出廠前都經(jīng)過12~14MPa的水壓試驗,性能穩(wěn)定可靠。

磁懸浮變頻離心式冷水機組M-plus+ 

冷媒:R134a

制冷量:984.8~3517.0kW

由磁懸浮變頻壓縮機、經(jīng)濟器、降膜式蒸發(fā)器、強過冷冷凝器等部件組成,其滿載性能系數(shù)高達6.75、綜合部分負荷性能系數(shù)高達11.85,全負荷范圍內(nèi)均具有超一流的運行能效;

無油運轉(zhuǎn),維護簡單,整個生命周期內(nèi)性能無衰減;

運轉(zhuǎn)安靜,僅70dB(A)左右。

中小型電子凈化車間空調(diào)方案

印刷電路板(PCB)的生產(chǎn)、電子產(chǎn)品的裝配等凈化車間,通常規(guī)模相對較小。

直流變頻直膨式空調(diào)機組

冷媒:R410a

制冷量:25.2~224 kW

空氣處理部分采用專利榫頭雙柱結(jié)構,機組漏風率僅為0.03%。機組采用面板直接拼裝結(jié)構,面板內(nèi)部為高密度聚氨酯發(fā)泡,確保面板有足夠的強度;

機組內(nèi)表面光滑平整,不易積灰,無二次污染,適合凈化場所使用;

全新高壓腔直流變頻壓縮機實現(xiàn)電機的高效運轉(zhuǎn)特別在低速、低壓比時效率更高,更節(jié)能,滿足機組的全工況運行;冷凝風機采用無刷直流電機,效率較普通電機高35%,同時可根據(jù)系統(tǒng)壓力變化調(diào)整轉(zhuǎn)速,保證系統(tǒng)處于最佳運行狀態(tài);

柔性渦旋壓縮機可承受一定程度液壓縮,延長使用壽命;內(nèi)置浮動渦旋盤可自動泄壓,避免渦旋盤損壞提升了壓縮機可靠性;兩次過冷技術增加了液態(tài)冷媒過冷度,降低了管道流動阻力,增加允許配管的長度,提升了電子膨脹閥的穩(wěn)定性;

直流變頻技術,制冷能力根據(jù)負荷無級調(diào)節(jié),溫濕度控制精準,波動小。

滿溢式螺桿冷水機組

冷媒:R22/R134a

制冷量:275~3600kW(R22)245~3000kW(R134a)熱回收:83~1080kW(R22)(可選)

主要用來為中央空調(diào)工程和工業(yè)生產(chǎn)提供集中冷源,同時根據(jù)客戶需求可提供清潔熱水;廣泛應用于軌道交通、賓館、飯店、學校、商場、辦公樓、醫(yī)院等空調(diào)場所,也可用于核電、塑料化工、精密儀器等工藝冷卻過程。

模塊式風冷熱泵

冷媒:R410a

制冷量:50.5~2096kW

采用最新全密閉渦旋式壓縮機,噪聲低、振動小且能效比高;

模塊化設計,可分級啟動以減少對電網(wǎng)的瞬間沖擊,節(jié)省電能;

每個模塊均有獨立的框架結(jié)構,制冷系統(tǒng)和控制保護系統(tǒng),各模塊單元以步進方式達到空調(diào)所需的負荷容量,任何模塊單元發(fā)生故障時并不影響其他模塊單元的正常工作。

常年制冷

電子凈化車間由于維護結(jié)構保溫性能好,功能分區(qū)多,車間內(nèi)設備發(fā)熱量大,通常處于廠房中部的房間,即使在春秋季甚至冬季,也需要制冷降溫。

風冷大渦漩冷水機組

冷媒:R410a

制冷量:230~3680kW

模塊化設計,可分級啟動以減少對電網(wǎng)的瞬間沖擊,節(jié)省電能;

每個模塊均有獨立的框架結(jié)構,制冷系統(tǒng)和控制保護系統(tǒng),各模塊單元以步進方式達到空調(diào)所需的負荷容量,任何模塊單元發(fā)生故障時并不影響其他模塊單元的正常工作。

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